Selective Growth of Aluminum Nitride by Laser -Enhanced Reactive Vapor Deposition

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Selective Growth of Aluminum Nitride by Laser -Enhanced Reactive Vapor Deposition

著者

和文:	N. Otake, L. Liu, K. Kato.
英文:	N. Otake, L. Liu, K. Kato.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. 9th CIMTEC-World Forum on New Materials, Surface Engineering

巻, 号, ページ

No. 20 pp. 143-150

出版年月

1999年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: