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論文・著書情報


タイトル
和文:帯状薄膜ミラーと高誘電体膜を利用したMEMS光スイッチ 
英文: 
著者
和文: 西村雅彦, 奥津和俊, 佐藤海二.  
英文: 西村雅彦, Kazutoshi OKUTSU, KAIJI SATO.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:2007年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 405-406
出版年月 2007年3月 
出版者
和文:精密工学会 
英文:The Japan Society for Precision Engineering 
会議名称
和文:2007年度精密工学会春季大会学術講演会 
英文: 
開催地
和文:芝浦工業大学 豊洲キャンパス 
英文: 

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