Flexible Electro-rheological Microvalve (FERV) Based on SU-8 Cantilever Structures and its Application to Microactuators

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Flexible Electro-rheological Microvalve (FERV) Based on SU-8 Cantilever Structures and its Application to Microactuators

著者

和文:	金俊完, 吉田和弘, 国府田くみ子, 横田眞一.
英文:	Joon-wan KIM, KAZUHIRO YOSHIDA, Kumiko KOUDA, SHINICHI YOKOTA.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. The 6th International Symposium on Linear Drives for Industrial Applications (LDIA 2007)

巻, 号, ページ

出版年月

2007年9月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	LDIA2007

開催地

和文:
英文:	Lille, France