【重要】T2R2・STARSearchの停止と後継システムについて
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タイトル
和文:
超音波定在波を用いた自走式非接触リニアステージ
英文:
著者
和文:
小山 大介
,
武井 裕之
,
中村 健太郎
,
上羽 貞行
.
英文:
Daisuke KOYAMA
,
Hiroyuki TAKEI
,
KENTARO NAKAMURA
,
SADAYUKI UEHA
.
言語
Japanese
掲載誌/書名
和文:
電子情報通信学会技術研究報告(信学技報)
英文:
巻, 号, ページ
Vol. 107(376) us2007-82 pp. 1-6
出版年月
2007年12月
出版者
和文:
社団法人 電子情報通信学会
英文:
会議名称
和文:
電子情報通信学会 超音波研究会
英文:
開催地
和文:
英文:
アブストラクト
null
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