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論文・著書情報


タイトル
和文:MEMS材料のコンビナトリアル評価 -線膨張係数と縦弾性係数の同時評価法ー 
英文: 
著者
和文: 青野祐子, 秦誠一, 山内隆介, 櫻井淳平, 下河邉明.  
英文: Yuko Aono, SEIICHI HATA, Ryusuke Yamauchi, Junpei Sakurai, Akira Shimokohbe.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:2007年度 精密工学会秋季大会学術講演会 講演論文集 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 830-831
出版年月 2007年9月 
出版者
和文:精密工学会 
英文: 
会議名称
和文:精密工学会秋季大会 
英文: 
開催地
和文:旭川 
英文: 

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