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論文・著書情報


タイトル
和文:MEMS技術による針－リング形高出力ECFアクチュエータ 
英文: 
著者
和文: 金俊完, 尾川宜嗣, 横田眞一, 吉田和弘, 枝村一弥.  
英文: Joon-wan KIM, Yoshitsugu Ogawa, SHINICHI YOKOTA, KAZUHIRO YOSHIDA, 枝村一弥.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第16回MAGDAコンファレンス in 京都 電磁現象および電磁力に関するコンファレンス 講演論文集 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 385-388
出版年月 2007年11月 
出版者
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会議名称
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開催地
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