Distribution of Excited States of Hydrogen in Microwave Discharge Hydrogen Plasma

論文・著書情報

タイトル

和文:	マイクロ波放電水素プラズマの水素原子分子の励起状態分布
英文:	Distribution of Excited States of Hydrogen in Microwave Discharge Hydrogen Plasma

著者

和文:	清水良浩, 橘高勇介, 松浦治明, 根津篤, 赤塚洋.
英文:	Yoshihiro Shimizu, yuusuke kittaka, HARUAKI MATSUURA, Atsushi Nezu, HIROSHI AKATSUKA.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	第２５回プラズマプロセシング研究会プロシーディングス
英文:	Proc. The 25th Symposium on Plasma Processing (SPP-25)

巻, 号, ページ

pp. 101-102

出版年月

2008年1月

出版者

和文:	応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会
英文:	Organizinng Committee of SPP-25

会議名称

和文:	第２５回プラズマプロセシング研究会
英文:	The 25th Symposium on Plasma Processing (SPP-25)

開催地

和文:	山口県教育会館
英文:	Education Hall of Yamaguchi Prefecture

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