低温現像によるGaInAsP/InP量子細線構造の線幅ばらつきの低減

論文・著書情報

タイトル

和文:	低温現像によるGaInAsP/InP量子細線構造の線幅ばらつきの低減
英文:

著者

和文:	プルームウォンロート・タノーム, 小沢浩二, 黒川宗高, 田村茂雄, 丸山武男, 西山伸彦, 荒井滋久.
英文:	プルームウォンロート・タノーム, Koji Ozawa, Munetaka Kurokawa, shigeo tamura, Takeo Maruyama, Nobuhiko Nishiyama, SHIGEHISA ARAI.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第55回応用物理学関係連合講演会
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 千葉 no. 28p-E-18

出版年月

2008年3月

出版者

和文:	応用物理学会
英文:

会議名称

和文:	第55回応用物理学関係連合講演会
英文:

開催地

和文:	千葉
英文: