C60含有と非含有EBレジストZEPの重ね塗りによるSi導波路ドライエッチング形状の向上

論文・著書情報

タイトル

和文:	C60含有と非含有EBレジストZEPの重ね塗りによるSi導波路ドライエッチング形状の向上
英文:

著者

和文:	井上敬太, プルームウォンロート･タノーム, 西山伸彦, 阪本真一, 榎本晴基, 田村茂雄, 丸山武男, 荒井滋久.
英文:	Keita Inoue, プルームウォンロート･タノーム, Nobuhiko Nishiyama, Shinichi Sakamoto, Haruki Enomoto, shigeo tamura, Takeo Maruyama, SHIGEHISA ARAI.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第55回応用物理学関係連合講演会
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 千葉 No. 29p-ZG-15

出版年月

2008年3月

出版者

和文:	応用物理学会
英文:

会議名称

和文:	第55回応用物理学関係連合講演会
英文:

開催地

和文:	千葉
英文: