Thermal Stability Improvement of Si1-yCy Layers by SiO2 Cap Layers

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Thermal Stability Improvement of Si1-yCy Layers by SiO2 Cap Layers

著者

和文:	石原英恵, 井上駒樹, 山田明, 小長井誠.
英文:	Hanae Ishihara, Komaki Inoue, Akira Yamada, Makoto Konagai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	5th International Conference on Silicon Epitaxy and Heterostructures

巻, 号, ページ

出版年月

2007年5月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	5th International Conference on Silicon Epitaxy and Heterostructures (ICSI-5)

開催地

和文:
英文:	Marseille, France