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論文・著書情報


タイトル
和文:VHF-PECVD法によるa-SiC:H薄膜の作製と評価 
英文: 
著者
和文: Ihsanul Afdi Yunaz, 宮島晋介, 山田明, 小長井誠.  
英文: Ihsanul Afdi Yunaz, Shinsuke Miyajima, AKIRA YAMADA, MAKOTO KONAGAI.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第4回「次世代の太陽光発電システム」予稿集 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 183-186
出版年月 2007年6月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第4回「次世代の太陽光発電システム」 
英文: 
開催地
和文:東北大学さくらホール 
英文: 

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