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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Dry Etching of CaF₂by Solid Source H₂O(ice) Plasma 
著者
和文: 松谷 晃宏, Hideo Ohtsuki, 小山 二三夫.  
英文: Akihiro Matsutani, Hideo Ohtsuki, Fumio Koyama.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ     6A-4-94    pp. 248-249
出版年月 2007年11月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:20th International Microprocesses and Nanotechnology Conference 
開催地
和文: 
英文:Kyoto, Japan 

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