同軸ノズル型電極を用いた放電プラズマからのEUV発光特性

論文・著書情報

タイトル

和文:	同軸ノズル型電極を用いた放電プラズマからのEUV発光特性
英文:

著者

和文:	渡邊正人, 宋仁皓, 小林靖典, 坂本敏郎, S.R.Mohanty, 沖野晃俊, 堀岡一彦, 堀田栄喜.
英文:	MASATO WATANABE, INHO SONG, Yasunori Kobayashi, Toshiro Sakamoto, S.R.Mohanty, AKITOSHI OKINO, KAZUHIKO HORIOKA, EIKI HOTTA.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第66回応用物理学会学術講演会講演予稿集
英文:

巻, 号, ページ

No. 2 pp. 582

出版年月

2005年9月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	応用物理学会秋季講演会
英文:

開催地

和文:	日本
英文: