High speed and quick response precise linear stage system using V-shape transducer ultrasonic motors

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	High speed and quick response precise linear stage system using V-shape transducer ultrasonic motors

著者

和文:	阿隅一将, 藤村健, 黒澤実.
英文:	K. Asumi, T. Fujimura, M. K. Kurosawa.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc.of 10th Anniversary Int. Conf. of the European Soc. for Prec. Eng. and Nanotechnology, EUSPEN 08

巻, 号, ページ

Vol. 1 pp. 406-410

出版年月

2008年5月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:	Zurich, Switzerland