集束イオンビームによる硬ぜい性材料のナノ加工に関する研究

論文・著書情報

タイトル

和文:	集束イオンビームによる硬ぜい性材料のナノ加工に関する研究
英文:	Study on Nano-Machining of Hard and Brittle Material with Focused Ion Beam

著者

和文:	高橋信彦, 吉岡勇人, 新野秀憲.
英文:	Nobuhiko TAKAHASHI, Hayato YOSHIOKA, Hidenori SHINNO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	精密工学会誌
英文:	Journal of the Japan Society for Precision Engineering

巻, 号, ページ

Vol. 74 No. 5 pp. 491-497

出版年月

2008年5月

出版者

和文:	精密工学会
英文:	Journal of the Japan Society for Precision Engineering

会議名称

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開催地

和文:
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