Analysis of irregular increase in sheet resistance of Ni silicides on transition from NiSi to NiSi2

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Analysis of irregular increase in sheet resistance of Ni silicides on transition from NiSi to NiSi2

著者

和文:	筒井一生, 角嶋邦之, AHMETPARHAT, 岩井洋.
英文:	KAZUO TSUTSUI, Kuniyuki KAKUSHIMA, PARHAT AHMET, HIROSHI IWAI.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Microelectronic Engineering

巻, 号, ページ

Vol. 85 pp. 315-319

出版年月

2008年2月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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英文:

DOI