Properties of n-type hydrogenated nanocrystalline cubic silicon carbide films deposited by VHF-PECVD at a low substrate temperature

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Properties of n-type hydrogenated nanocrystalline cubic silicon carbide films deposited by VHF-PECVD at a low substrate temperature

著者

和文:	宮島晋介, Makoto Sawamura, 山田明, 小長井誠.
英文:	Shinsuke Miyajima, Makoto Sawamura, Akira Yamada, Makoto Konagai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Journal of Non-Crystalline Solids

巻, 号, ページ

Vol. 354 No. 19-25 pp. 2350-2354

出版年月

2008年2月

出版者

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会議名称

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開催地

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DOI