超精密加工用リニアモータ駆動空気静圧XY平面運動テーブルシステム

論文・著書情報

タイトル

和文:	超精密加工用リニアモータ駆動空気静圧XY平面運動テーブルシステム
英文:	Linear Motor-driven Aerostatic X-Y Planar Motion Table System for Nano-machining

著者

和文:	新野秀憲, 吉岡勇人.
英文:	Hidenori SHINNO, Hayato YOSHIOKA.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本機械学会C229 多軸工作機械における先進技術に関する研究分科会研究報告書
英文:	JSME Research Committee on Advanced Technologies for Multi-axis Machine Tools

巻, 号, ページ

pp. 23-28

出版年月

2008年6月

出版者

和文:	日本機械学会
英文:	The Japan Society of Mechanical Engineers

会議名称

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開催地

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