陰極温度制御による真空アーク蒸着アモルファスカーボン膜のドロップレット低減

論文・著書情報

タイトル

和文:	陰極温度制御による真空アーク蒸着アモルファスカーボン膜のドロップレット低減
英文:	Droplet reduction in amorphous carbon film prepared in vacuum arc deposition by controlling cathode temperature

著者

和文:	堀越睦美, 平田敦.
英文:	Mutsumi Horikoshi, ATSUSHI HIRATA.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	2007年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集
英文:

巻, 号, ページ

pp. 277-278

出版年月

2007年9月

出版者

和文:	社団法人砥粒加工学会
英文:

会議名称

和文:	2007年度砥粒加工学会学術講演会
英文:

開催地

和文:	東京工業大学大岡山キャンパス
英文: