マイクロ繊毛アックチュエータ群の開発～ニッケルめっきに電極接合による繊毛アクチュエータアレイ・群の作成と駆動実験～

論文・著書情報

タイトル

和文:	マイクロ繊毛アックチュエータ群の開発～ニッケルめっきに電極接合による繊毛アクチュエータアレイ・群の作成と駆動実験～
英文:	Development of Micro Cilium Actuators in Group - Fabrication of Cilium Actuator Array and Group and Their Driving Experiment -

著者

和文:	西田吉人, 岩附信行, 森川広一.
英文:	Yoshito Nishida, Nobuyuki Iwatsuki, Koichi Morikawa.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第20回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム講演論文集
英文:	Proc. of The 20th Symposium on Electromagnetics and Dynamics

巻, 号, ページ

pp. 81-86

出版年月

2008年7月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第20回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム
英文:	The 20th Symposium on Electromagnetics and Dynamics

開催地

和文:	別府，大分
英文:	Beppu, Oita, Japan