アルミニウム誘起結晶化法による多結晶シリコン薄膜形成挙動のその場加熱観察

論文・著書情報

タイトル

和文:	アルミニウム誘起結晶化法による多結晶シリコン薄膜形成挙動のその場加熱観察
英文:	In-Situ Heating Observation for Formation Behavior of Polycrystalline Silicon Thin Films Fabricated Using Aluminum Induced Crystallization

著者

和文:	池田賢一, 高田尚記, 廣田健, 井誠一郎, 杉本陽平, 中島英治, 中島寛.
英文:	Ken-ichi Ikeda, Takeshi Hirota, Kensuke Fujimoto, Youhei Sugimoto, Seiichiro Ii, Hideharu Nakashima, Hiroshi Nakashima.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本金属学会誌
英文:	J. Japan Inst. Metals

巻, 号, ページ

Vol. 71 No. 2 pp. 158-163

出版年月

2007年2月

出版者

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英文:	The Japan Institute of Metals

会議名称

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開催地

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