超精密加工用非接触鉛直方向ナノ運動テーブルシステムの開発研究

論文・著書情報

タイトル

和文:	超精密加工用非接触鉛直方向ナノ運動テーブルシステムの開発研究
英文:	A Developed Noncontact Vertical Nano-motion Table System for Ultraprecision Machining

著者

和文:	新野秀憲, 吉岡勇人.
英文:	Hidenori SHINNO, Hayato YOSHIOKA.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	工作機械技術振興財団第２８次試験研究報告書
英文:	Research Report on the 28th Research Projects

巻, 号, ページ

pp. 1-33

出版年月

2008年8月

出版者

和文:	財団法人工作機械技術振興財団
英文:	The Machine Tool Engineering Foundation

会議名称

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開催地

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