Direct bonding of GaInAsP/InP membrane structure on SOI wafer

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Direct bonding of GaInAsP/InP membrane structure on SOI wafer

著者

和文:	丸山武男, 奥村忠嗣, 阪本真一, 三浦幸治, 西本頼史, 荒井滋久.
英文:	Takeo Maruyama, Tadashi Okumura, Shinichi Sakamoto, Koji Miura, Yoshifumi Nishimoto, SHIGEHISA ARAI.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	The 18th Indium Phosphide and Related Materials Conference

巻, 号, ページ

Vol. WP-2

出版年月

2006年5月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	The 18th Indium Phosphide and Related Materials Conference (IPRM2006)

開催地

和文:
英文:	Princeton (USA)