AlAs oxidation system with H<sub>2</sub>O vaporizer for oxide-confined surface emitting lasers

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	AlAs oxidation system with H₂O vaporizer for oxide-confined surface emitting lasers

著者

和文:	荒井昌和, 西山伸彦, 品田聡, 小山二三夫, 伊賀健一.
英文:	Masakazu Arai, Nobuhiko Nishiyama, Satoshi Shinada, Fumio Koyama, Kenichi Iga.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Jpn. J. Appl. Phys.

巻, 号, ページ

Vol. 39 No. 6A pp. 3468-3469

出版年月

2000年6月

出版者

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会議名称

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開催地

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DOI