“In-Plane Lattice Strain Evaluation in Piezoelectric Microcantilever By Two-Dimentional X-Ray Diffraction”

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	“In-Plane Lattice Strain Evaluation in Piezoelectric Microcantilever By Two-Dimentional X-Ray Diffraction”

著者

和文:	森岡仁, 斎藤啓介, 小林剛, Toshiyuki Kurosawa, 舟窪浩.
英文:	Hitoshi Morioka, Keisuke Saito, Takeshi Kobayashi, Toshiyuki Kurosawa, Hiroshi Funakubo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Jpn. J. Appl. Phys.

巻, 号, ページ

Vol. 47 pp. 7556-7560

出版年月

2008年

出版者

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会議名称

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開催地

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