Vertical Nano-Positioning Stage with Noncontact Gravity Compensator

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Vertical Nano-Positioning Stage with Noncontact Gravity Compensator

著者

和文:	新野秀憲, Motohiro TAKAHASHI, 吉岡勇人.
英文:	Hidenori SHINNO, Motohiro TAKAHASHI, Hayato YOSHIOKA.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of the 13th International Machine Tool Engineers' Conference, October 30th to November 4th, 2008

巻, 号, ページ

pp. 64-65

出版年月

2008年11月

出版者

和文:
英文:	Japan Machine Tool Builders' Association

会議名称

和文:
英文:	The 13th International Machine Tool Engineers' Conference

開催地

和文:
英文:	Tokyo Big Sight