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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Thermal stability of UBM sputtered DLC coatings with various hydrogen contents 
著者
和文: 伊藤 弘高, 山本 兼司, 益子 正文.  
英文: Hirotaka Ito, Kenji Yamamoto, Masabumi Masuko.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Thin Solid Films 
巻, 号, ページ Vol. 517        pp. 1115-1119
出版年月 2008年12月 
出版者
和文: 
英文:Elsevier 
会議名称
和文: 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 
DOI https://doi.org/10.1016/j.tsf.2008.08.163

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