ECF Microactuator with Needle-Ring Electrodes by MEMS Technology

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	ECF Microactuator with Needle-Ring Electrodes by MEMS Technology

著者

和文:	金俊完, 尾川宜嗣, 横田眞一, 吉田和弘, 枝村一弥.
英文:	Joon-wan Kim, Yoshitsugu Ogawa, Shinichi Yokota, Kazuhiro Yoshida, Kazuya Edamura.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	12th International Conference on Mechatronics Technology (ICMT 2008)

巻, 号, ページ

出版年月

2008年10月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:	12th International Conference on Mechatronics Technology (ICMT 2008)