MEMS技術を用いたフレキシブルＥＲマイクロアクチュエータ（FERMA）

論文・著書情報

タイトル

和文:	MEMS技術を用いたフレキシブルＥＲマイクロアクチュエータ（FERMA）
英文:

著者

和文:	金俊完, 吉田和弘, 国府田くみ子, 横田眞一.
英文:	Joon-wan KIM, KAZUHIRO YOSHIDA, Kumiko KOUDA, SHINICHI YOKOTA.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	機能性流体を活用した次世代型フルードパワーシステムに関する公開シンポジウム講演論文集
英文:

巻, 号, ページ

pp. 37-38

出版年月

2008年11月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	機能性流体を活用した次世代型フルードパワーシステムに関する公開シンポジウム
英文:

開催地

和文:	仙台市東北大学
英文: