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論文・著書情報


タイトル
和文:固体ソースH₂Oプラズマの生成とCaF₂のドライエッチングへの応用 
英文:Generation of sold source H₂Oplasma and its application to dry etching of CaF₂ 
著者
和文: 松谷晃宏, 大槻秀夫, 小山二三夫.  
英文: Akihiro Matsutani, Hideo Ohtsuki, Fumio Koyama.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第５５回応用物理学関係連合講演会 
英文:The 55th Spring Meeting of JSAP 
巻, 号, ページ     30p-NA-2   
出版年月 2008年9月 
出版者
和文: 
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会議名称
和文: 
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開催地
和文:千葉 
英文:Chiba 

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