【重要】T2R2・STARSearchの停止と後継システムについて
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論文・著書情報
タイトル
和文:
第2編 第6章 第4節 【3】 スライディングモード制御
英文:
著者
和文:
佐藤海二
.
英文:
KAIJI SATO
.
言語
Japanese
掲載誌/書名
和文:
次世代精密位置決め技術(精密工学会 超精密位置決め専門委員会監修)
英文:
Present and Future Technology of Ultraprecision Positioning
巻, 号, ページ
pp. 488-492
出版年月
2000年4月
出版者
和文:
フジテクノシステム
英文:
会議名称
和文:
英文:
開催地
和文:
英文:
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