帯状薄膜ミラーを利用したMEMS光スイッチの製作・組立法

論文・著書情報

タイトル

和文:	帯状薄膜ミラーを利用したMEMS光スイッチの製作・組立法
英文:	A Fabrication Method of a MEMS Optical Switch Using Belt-shaped Thin Film Mirror

著者

和文:	山口岳彦, 奥津和俊, 佐藤海二.
英文:	Takehiko YAMAGUCHI, Kazutoshi OKUTSU, Kaiji SATO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	2008年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
英文:

巻, 号, ページ

pp. 553-554

出版年月

2008年3月

出版者

和文:	精密工学会
英文:	The Japan Society for Precision Engineering

会議名称

和文:	2008年度精密工学会春季大会学術講演会
英文:

開催地

和文:	川崎市，日本
英文: