RF MEMS Planar Solenoidal Inductor with Wide Tunability

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	RF MEMS Planar Solenoidal Inductor with Wide Tunability

著者

和文:	白根篤史, 伊藤浩之, 石原昇, 益一哉.
英文:	Atsushi Shirane, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Kazuya Masu.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Advanced Metallization Conference (AMC) 2011

巻, 号, ページ

出版年月

2011年10月4日

出版者

和文:
英文:	Advanced Metallization Conference (AMC)

会議名称

和文:
英文:	Advanced Metallization Conference (AMC) 2011

開催地

和文:
英文:	San Diego, California