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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:A 2 x 2 array of the multi-degree-of freedom ultrasonic actuators for a low prfile two-dimensional sliiding table 
著者
和文: 合田 泰之, 小山 大介, 中村 健太郎, 上羽 貞行.  
英文: Yasuyuki Goda, Daisuke Koyama, Kentaro Nakamura, Sadayuki Ueha.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:IEICE Electronics Express 
巻, 号, ページ vol. 6    no. 6    pp. 317-321
出版年月 2009年3月 
出版者
和文: 
英文:IEICE 
会議名称
和文: 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 
公式リンク https://doi.org/10.1587/elex.6.317
 
DOI https://doi.org/10.1587/elex.6.317

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