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論文・著書情報
タイトル
和文:
英文:
A 2 x 2 array of the multi-degree-of freedom ultrasonic actuators for a low prfile two-dimensional sliiding table
著者
和文:
合田 泰之
,
小山 大介
,
中村 健太郎
,
上羽 貞行
.
英文:
Yasuyuki Goda
,
Daisuke Koyama
,
Kentaro Nakamura
,
Sadayuki Ueha
.
言語
English
掲載誌/書名
和文:
英文:
IEICE Electronics Express
巻, 号, ページ
vol. 6 no. 6 pp. 317-321
出版年月
2009年3月
出版者
和文:
英文:
IEICE
会議名称
和文:
英文:
開催地
和文:
英文:
公式リンク
https://doi.org/10.1587/elex.6.317
DOI
https://doi.org/10.1587/elex.6.317
©2007
Institute of Science Tokyo All rights reserved.