Segment-Structured Diamond-Like-Carbon Films Application to Friction Drive of Surface Acoustic Wave Linear Motor, Actuator 2006

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Segment-Structured Diamond-Like-Carbon Films Application to Friction Drive of Surface Acoustic Wave Linear Motor, Actuator 2006

著者

和文:	高崎正也, H. Kotani, 青木佑一, 大竹尚登, T. Mizuno.
英文:	M. Takasaki, H. Kotani, 青木佑一, N. Ohtake, T. Mizuno.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

pp. 449-452

出版年月

2006年6月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	10th International Conference on New Actuators

開催地

和文:
英文:	Bremen, Germany