Rapid Growth of Diamond-like Carbon Films by Nanopulse Magnetron Chemical Vapor Deposition

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Rapid Growth of Diamond-like Carbon Films by Nanopulse Magnetron Chemical Vapor Deposition

著者

和文:	齊藤雅典, T. Saito, Y. Kondo, 村上碩哉, 大竹尚登.
英文:	M. Saito, T. Saito, Y. Kondo, H. Murakami, N. Ohtake.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Jpn. J. Appl. Phys.

巻, 号, ページ

Vol. 46 No. 5A pp. 3029-3031

出版年月

2007年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI