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論文・著書情報


タイトル
和文:SiN応力膜によるSi基板への歪記憶の検討 
英文: 
著者
和文: 日野雅文, 吉田哲也, 小瀬村 大亮, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 杉井信之, 小椋 厚志, 服部健雄, 岩井洋.  
英文: Masafumi Hino, Tetsuya Yoshida, 小瀬村 大亮, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, Nobuyuki Sugii, Atsushi Ogura, takeo hattori, HIROSHI IWAI.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:春季第55回応用物理学会学術講演会予稿集 
英文: 
巻, 号, ページ     No. 2    pp. 883
出版年月 2008年3月 
出版者
和文:応用物理学会 
英文: 
会議名称
和文:春季第55回応用物理学会学術講演会 
英文: 
開催地
和文:日本大学 
英文: 

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