熱酸化によるSi ナノワイヤの作製とその電気特性

論文・著書情報

タイトル

和文:	熱酸化によるSi ナノワイヤの作製とその電気特性
英文:

著者

和文:	新井英朗, 上村英之, 佐藤創志, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 服部健雄, 杉井信之, 岩井洋.
英文:	Hideaki Arai, Hideyuki Kamimura, Soshi Sato, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, takeo hattori, Nobuyuki Sugii, HIROSHI IWAI.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	応用物理学会学術講演会予稿集
英文:

巻, 号, ページ

No. 2 pp. 768

出版年月

2008年9月

出版者

和文:	応用物理学会
英文:

会議名称

和文:	秋季第69回応用物理学会学術講演会
英文:

開催地

和文:	中部大学
英文: