セグメント構造ダイヤモンド状炭素膜を摩擦駆動面に用いた弾性表面波リニアモータ －S-DLCを備えたステータ振動子面による駆動特性－

論文・著書情報

タイトル

和文:	セグメント構造ダイヤモンド状炭素膜を摩擦駆動面に用いた弾性表面波リニアモータ－S-DLCを備えたステータ振動子面による駆動特性－
英文:

著者

和文:	藤井陽介, 小谷浩之, 青木佑一, 足立雄介, 高崎正也, 大竹尚登, 水野毅.
英文:	藤井陽介, 小谷浩之, 青木佑一, Yusuke Adachi, Masaya Takasaki, NAOTO OHTAKE, 水野毅.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	2007年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
英文:

巻, 号, ページ

741-742

出版年月

2007年

出版者

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会議名称

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開催地

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