Ultraprecision Machining System for Fabricating Nano-Devices

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Ultraprecision Machining System for Fabricating Nano-Devices

著者

和文:	M.Takahashi, 吉岡勇人, 新野秀憲.
英文:	M.Takahashi, H.Yoshioka, H.Shinno.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of the 9th International Conference of the euspen, June 2nd-5th, 2009, San Sebastian, Spain

巻, 号, ページ

Vol. 1 pp. 228-231

出版年月

2009年6月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	the 9th International Conference of the euspen

開催地

和文:
英文:	San Sebastian, Spain