Driving Characteristic of an Optical MEMS Switch Using a Belt-Shaped Thin Film Mirror and a High Dielectric Constant Layer

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Driving Characteristic of an Optical MEMS Switch Using a Belt-Shaped Thin Film Mirror and a High Dielectric Constant Layer

著者

和文:	奥津和俊, 西村雅彦, 佐藤海二.
英文:	Kazutoshi Okutsu, Masahiko Nishimura, Kaiji Sato.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of 2009 JSME-IIP/ASME-ISPS Joint Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment

巻, 号, ページ

No. 09-204 pp. 207-208

出版年月

2009年6月

出版者

和文:	日本機械学会
英文:	The Japan Society of Mechanical Engineers

会議名称

和文:
英文:	2009 JSME-IIP/ASME-ISPS Joint Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment (MIPE 2009)

開催地

和文:
英文:	Tsukuba, Japan