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論文・著書情報


タイトル
和文:マイクロ繊毛アクチュエータの外周電極の分割形成と先端楕円軌道生成への試み 
英文: 
著者
和文: 尾上知道, 岩附信行, 森川広一.  
英文: Tomomichi Onoe, NOBUYUKI IWATSUKI, KOICHI MORIKAWA.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:2008年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 921-922
出版年月 2008年9月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:2008年度精密工学会秋季大会学術講演会 
英文: 
開催地
和文:東北大学 
英文: 

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