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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:CVD polycrystalline silicon thin film prepared by fluorine-mediated crystal growth on glass substrate and its TFT application 
著者
和文: 半那純一.  
英文: Jun-ichi Hanna.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Chemical Vapor Deposition 
巻, 号, ページ Vol. 14    No. 5-6    pp. 107-110
出版年月 2008年5月 
出版者
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会議名称
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開催地
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