低電子揺動Ce酸化物を利用したhigh－k膜中の固定電荷の抑制

論文・著書情報

タイトル

和文:	低電子揺動Ce酸化物を利用したhigh－k膜中の固定電荷の抑制
英文:

著者

和文:	幸田みゆき, 梅澤直人, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 白石賢二, 知京豊裕, 山田啓作, 岩井洋, 服部健雄.
英文:	Miyuki Kouda, Naoto Umezawa, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, Kenji Shiraishi, Toyohiro Chikyow, Keisaku Yamada, HIROSHI IWAI, takeo hattori.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	ゲートスタック研究会－材料･プロセス・評価の物理－（第14回研究会）
英文:

巻, 号, ページ

pp. 21

出版年月

2009年1月

出版者

和文:	ゲートスタック研究会
英文:

会議名称

和文:	応用物理学会薄膜･表面物理分科会/シリコンテクノロジー分科会共催特別研究会ゲートスタック研究会－材料･プロセス・評価の物理－（第14回研究会）
英文:

開催地

和文:	東レ総合研修センター
英文: