A self-running ultrasonically levitated 2D stage using flexural vibrating plates

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A self-running ultrasonically levitated 2D stage using flexural vibrating plates

著者

和文:	小山大介, 中村健太郎.
英文:	Daisuke Koyama, Kentaro Nakamura.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of 2009 International Congress on Ultrasonics

巻, 号, ページ

p. 264

出版年月

2009年1月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2009 International Congress on Ultrasonics

開催地

和文:
英文:	Santiago