Effect of bottom electrode on dielectric property of sputtered-(Ba,Sr) TiO3 films

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effect of bottom electrode on dielectric property of sputtered-(Ba,Sr) TiO3 films

著者

和文:	Shinichi Ito, 山田智明, 高橋健二, Shoji Okamoto, 加茂嵩史, 舟窪浩, Ivoyl Koutsaroff, Marina Zelner, Andrew Cervin-Lawry.
英文:	Shinichi Ito, Tomoaki Yamada, Kenji Takahashi, Shoji Okamoto, Takafumi Kamo, Hiroshi Funakubo, Ivoyl Koutsaroff, Marina Zelner, Andrew Cervin-Lawry.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	J.Appl.Phys.

巻, 号, ページ

Vol. 105 pp. 061606-1-4

出版年月

2009年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
英文: