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論文・著書情報


タイトル
和文:VHFプラズマにより作製されたSi量子ドットのPドーピング 
英文: 
著者
和文: 中峯嘉文, 内田 建, 小田俊理.  
英文: Yoshifumi Nakamine, Ken Uchida, SHUNRI ODA.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2009年4月 
出版者
和文: 
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会議名称
和文:第56回応用物理学関係連合講演会 
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開催地
和文:つくば市 
英文: 
アブストラクト 講演番号1a-P13-17

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