Noncontact self-running ultrasonically levitated two-dimensional stage using flexural standing waves

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Noncontact self-running ultrasonically levitated two-dimensional stage using flexural standing waves

著者

和文:	小山大介, 中村健太郎.
英文:	Daisuke Koyama, Kentaro Nakamura.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

vol. 48 no. 7S pp. 07GM07-1-5

出版年月

2009年7月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

DOI