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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Analysis of irregular increase in sheet resistance of Ni silicides on transition from NiSi to NiSi2 
著者
和文: 筒井一生, Ruifei Xiang, K. Nagahiro, T. Shiozawa, パールハットアヘメト, Y. Okuno, M. Matsumoto, M. Kubota, 角嶋邦之, 岩井洋.  
英文: KAZUO TSUTSUI, Ruifei Xiang, K. Nagahiro, T. Shiozawa, Ahmet Parhat, Y. Okuno, M. Matsumoto, M. Kubota, Kuniyuki KAKUSHIMA, HIROSHI IWAI.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Microelectronic Engineering 
巻, 号, ページ Vol. 85        pp. 315-319
出版年月 2008年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 
DOI https://doi.org/10.1016/j.mee.2007.07.002

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