微細形状転写プロセスにおけるスタンパと溶融ポリマーとの粘着効果

論文・著書情報

タイトル

和文:	微細形状転写プロセスにおけるスタンパと溶融ポリマーとの粘着効果
英文:	Adhesion Effects between a Molten Polymer and a Stamper in a Transcription Process for Fine Patterns

著者

和文:	伊東宏, 佐藤勲, 斉藤卓志, 焼本和利.
英文:	Hiroshi Ito, Isao Satoh, Takushi Saito, Kazutoshi Yakemoto.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	成形加工
英文:	Seikei-Kakou

巻, 号, ページ

Vol. 21 No. 8 pp. 499-509

出版年月

2009年7月

出版者

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会議名称

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開催地

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DOI